密封端面的平面度不同,条纹的种类也不同。图16表示了几种平面度合格的图像,至于不合格的图像各式各样未予绘出。 图16A是平直的条纹,表明密封端面得平面度接近光学平晶的平面度,显然这种平面度最高;图16b是弯曲的条纹, 干涉条纹数在一条以内,即小于o.3“m;图16c也是弯曲的 条纹,午涉条纹数为二条,平面度在o.6pm以内,图16d是同心 圆状的干涉条纹,如果是从平板研磨后取下来检验平面度, 这说明端面的内缘高,外缘较低,同心圆数量越多,其内外 缘高低差别越大。对压力不高的密封不能超过3个同心圆(按 平面度o.0009mm控制),否则密封端面泄漏量过大。在压力 较高的平衡型密封中,可能将密封端面推开,因此,如出现 同心圆状的条纹,不要超过2个。 平面度检验时务必经抛光后才能进行,否则,表面光洁 度不够,条纹照射不出来,尤其对石墨环更是这样。此外, 平晶和密封环端面要擦干净,不得有水分和灰尘,平晶要精 心保管,避免将面擦伤。为了保证检验的精度,还应对平晶 定期校验。